中天北方凈化工程（大連）有限公司—大連凈化潔凈室噪音要求
潔凈室不僅僅對室內(nèi)空氣潔凈度有嚴格的要求，針對運行環(huán)境的噪音也有一定的國家標準參數(shù)，因為潔凈室車間是一個相對密閉的、比較壓抑的一個環(huán)境，如果噪音控制不當，很容易造成車間工作人員以及生產(chǎn)環(huán)境的惡化。
① 噪聲的測定方法：
當房間的面積不大于 50m2 時，僅測定房間中心一個點。當房間的面積較大時，每增加 50m2 增加一個測點。測點距離地面 1.0m。當有條件時，宜測房間靜態(tài)工況的噪聲和本底噪聲。
② 合格標準：
應(yīng)符合設(shè)計要求，根據(jù)（潔凈廠房設(shè)計規(guī)范）的要求，潔凈室空態(tài)情況下非單向流潔凈室的噪聲不應(yīng)大于 60dB(A)。單向流和混合流潔凈室的噪聲不應(yīng)大于 65 dB(A)。
潔凈室噪聲控制
潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應(yīng)、語言通訊干擾和對工作效率的影響。國內(nèi)對于噪聲對于健康影響的研究表明，低于80dB（A）的一般工業(yè)噪聲對健康的影響不太大。
國外潔凈室噪聲標準的研究工作開始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯(lián)邦標準209a和1974修訂的209b規(guī)定：“潔凈室的噪聲控制在可能進行必要的通話，滿足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。在ISO/DIS14644-4標準（草案）中規(guī)定：“應(yīng)根據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適和安全要求及環(huán)境（如其它設(shè)備）的背壓級來選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為40-65dB（A）”。
從搜集的國內(nèi)外潔凈室的噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標準給出的允許值在65-70dB（A）范圍，醫(yī)療行業(yè)更低。現(xiàn)行的大多數(shù)標準均以A聲級作為評價指標，也有少數(shù)標準對于各頻帶聲壓級提出限制。少數(shù)標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出噪聲容許值，而大多數(shù)標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出一個統(tǒng)一的容許值。
對國內(nèi)幾個行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動態(tài)噪聲所進行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪聲有較大的差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在41-64 dB（A），平均為54 dB（A）；單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在51-75 dB（A），平均為65 dB（A）。非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11 dB（A）。非單向流潔凈室和單向流、混合流潔凈室靜態(tài)噪聲的差異與其送風(fēng)量（或換氣次數(shù)）和凈化空調(diào)系統(tǒng)的特征有關(guān)。
控制設(shè)備噪聲首先應(yīng)從聲源上著手，設(shè)計時應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟的原因而難于做到時，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上來采取降噪措施。例如，把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。必須置于潔凈室內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)有些潔凈室將機械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間，或技術(shù)夾道或服務(wù)區(qū)內(nèi)，潔凈室噪聲有明顯的降低。
潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的合理布置及合理的降噪措施。
關(guān)于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施，國內(nèi)外有關(guān)資料提出一些有效措施：
《現(xiàn)代潔凈室概念》一文中強調(diào)“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機，還應(yīng)該采用彈性減振基礎(chǔ)”。關(guān)于消聲器的使用，文中說：“管道消聲器在高頻和中頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的，當風(fēng)管敷設(shè)長度在15m內(nèi)時，就應(yīng)考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接，文中說：“通風(fēng)機和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應(yīng)采用柔性連接管隔開”。還要求“將通風(fēng)機外殼、靜壓箱和管道加上襯里”。
對風(fēng)道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度地降低。
排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對潔凈室影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過程中，外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)。近年來，對于潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)噪聲治理日益受到重視，注意選用低噪聲風(fēng)機等。
潔凈室的密封性能比較好，噪聲不易衰減，由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜，按規(guī)定減少風(fēng)管風(fēng)速，既減少了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力，降低了風(fēng)機壓頭和轉(zhuǎn)速，減弱了風(fēng)機噪聲，又防止了風(fēng)速過大而產(chǎn)生的附加噪聲。
潔凈室在使用期間，除了要對你潔凈度、溫濕度做測試和控制之外，對噪音標準也需要控制。人和凈化解析潔凈室噪音標準和潔凈室噪音控制方法。
潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應(yīng)、語言通訊干擾和對工作效率的影響。
國內(nèi)對于噪音對于健康影響的研究表明，低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲對健康的影響不太大。
國外潔凈室噪聲標準的研究工作開始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯(lián)邦標準209a和1974修訂的209b規(guī)定：“潔凈室的噪聲控制在可能進行必要的通話，滿足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。在ISO/DIS14644-4標準(草案)中規(guī)定：“應(yīng)根據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適和安全要求及環(huán)境(如其它設(shè)備)的背壓級來選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為40-65dB(A)”。
從搜集的國內(nèi)外潔凈室的噪音標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪音標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標準給出的允許值在65-70dB(A)范圍，醫(yī)療行業(yè)更低。現(xiàn)行的大多數(shù)標準均以A聲級作為評價指標，也有少數(shù)標準對于各頻帶聲壓級提出限制。少數(shù)標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出噪聲容許值，而大多數(shù)標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出一個統(tǒng)一的容許值。
對國內(nèi)幾個行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動態(tài)噪聲所進行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪音有較大的差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在41-64 dB(A)，平均為54 dB(A);單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在51-75 dB(A)，平均為65 dB(A)。非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11 dB(A)。非單向流潔凈室和單向流、混合流潔凈室靜態(tài)噪聲的差異與其送風(fēng)量(或換氣次數(shù))和凈化空調(diào)系統(tǒng)的特征有關(guān)。 控制設(shè)備噪聲首先應(yīng)從聲源上著手，設(shè)計時應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟的原因而難于做到時，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上來采取降噪措施。例如，把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。必須置于潔凈室內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)有些潔凈室將機械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間，或技術(shù)夾道或服務(wù)區(qū)內(nèi)，潔凈室噪聲有明顯的降低。
潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的合理布置及合理的降噪措施。
關(guān)于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施，國內(nèi)外有關(guān)資料提出一些有效措施：
《現(xiàn)代潔凈室概念》一文中強調(diào)“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機，還應(yīng)該采用彈性減振基礎(chǔ)”。關(guān)于消聲器的使用，文中說：“管道消聲器在高頻和中頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的，當風(fēng)管敷設(shè)長度在15m內(nèi)時，就應(yīng)考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接，文中說：“通風(fēng)機和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應(yīng)采用柔性連接管隔開”。還要求“將通風(fēng)機外殼、靜壓箱和管道加上襯里”。對風(fēng)道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度地降低。
排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對潔凈室影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過程中，外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)。近年來，對于潔凈廠房排風(fēng)系統(tǒng)噪聲治理日益受到重視，注意選用低噪聲風(fēng)機等。
潔凈室的密封性能比較好，噪聲不易衰減，由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜，按規(guī)定減少風(fēng)管風(fēng)速，既減少了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力，降低了風(fēng)機壓頭和轉(zhuǎn)速，減弱了風(fēng)機噪聲，又防止了風(fēng)速過大而產(chǎn)生的附加噪聲。
潔凈廠房設(shè)計規(guī)范里的噪音控制標準
1、潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài))，非單向流潔凈室不應(yīng)大于60dB(A)，單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65 dB(A)。
2、潔凈廠房的平、剖面設(shè)計應(yīng)考慮控制要求。潔凈室的維護結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近。
3、潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施(如隔聲間、隔聲罩等)。
4、凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過允許值時，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)除事故排風(fēng)外應(yīng)進行減噪設(shè)計。
5、凈化空調(diào)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用總風(fēng)管： 6-10m/s;
無送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為4-6m/s;
有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為2-5m/s。
